現職 |
國立中央大學
工學院機械工程學系
教授
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專長 |
絕緣層矽晶 (SOI) 材料 晶圓鍵合科學與技術 化學機械拋光 薄膜轉移 - 離子切製程 - 智切法 多孔矽科學與技術 半導體電化學 微波材料製程 碳化矽材料製程優化 |
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專長簡述 | 半導體晶圓鍵合科學與技術、單晶薄膜轉移、奈米矽晶、多孔矽、矽光子 | ||
最高學歷 |
美國Duke University
機械(與)材料工程系
博士
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相關連結 |
科技部學門領域 | |||
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政府GRB研究專長領域 | |||
教育部學門領域 |